Ethernet Motion 控制板类Ethernet Motion控制板将步进电机(基本2轴,扩展4轴)控制和数字输入输出(基本40/16路,扩展16/16路)一体化,具备以基于Ethernet的网络通信控制的功能。
Camera TriggerCamera Trigger可以接收Encoder信号输入,以一定的Counting周期产生Pulse信号, 转换多种类型的信号进行输出,根据各种信号的类别,基本可以实现8信道的Trigger信号输出。
FOUP 检测传感器FOUP 检测传感器是安装在半导体线设备中的Load Port或STB, Stocker等上,接触式检测是否有Wafer Carrier (FOUP/FOSB/POD/MAC)的传感器。
Hybrid PIOHybrid-PIO(E84 Sensor)是根据半导体 SEMI-E84/E23 协议表群规定,非接触式收发8bit输入/输出信号时使用的通信设备, 是将2GHz/5GHz的RF通信和IR(红外线, 光) 通信介质整合为一体的复合通信设备。