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FOUP 检测传感器
CTS-STBS-xx-A
Mini FOUP 检测传感器
FOUP 检测传感器是安装在半导体线设备中的Load Port或STB, Stocker等上，接触式检测是否有Wafer Carrier (FOUP/FOSB/POD/MAC)的传感器。
由于是接触式检测，不受环境光噪音或电磁波噪音等影响，可以稳定地检测物体有无，采用内部传感器光学方式，保证500万次以上的使用寿命。
- CTS-STBS-Ax(NPN)
- CTS-STBS-Cx(PNP)
- CTS-STKS-Ax(NPN)
- 利用Wafer Carrie的接触检测，提高可靠性
- 由Head, Cable, Connector的配件构成, 可以Customize
- 额定驱动电流 : 15mA 以下
- 12 ~24 V DC的运行范围
- 1.5ms 以内的响应速度
- 内置防止反电压及过热的线路
- 可以通过Indicate LED确认运行状态
CE
- CTS-STBS-C Series / Mini FOUP Sensor : 1177-200587
安装组装时，需要单独的传感器固定块
无安装固定块，也可以安装
准备
CTS-STBS-Ax(Cx)-1
CTS-STKS-AA11
