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FOUP 検出センサー
CTS-STBS-XX-A
MINI FOUP SENSOR
Foupセンサーは半導体ライン設備の中でLoadポートまたはSTB、Stockerなどに設置をし、ウエハーキャリア(FOUP/FOSB/POD/MAC)の有/無を接触式で検出するセンサーです。
接触式ですので周りの光ノイズや電磁波ノイズなどに影響を受けなく安定に物体の有無を検出できますし、内部センサー光学方式を採択して500万回以上の寿命を保障します。
CTS-STBS-Ax(NPN)
CTS-STBS-Cx(PNP)
CTS-STKS-Ax(NPN)
- ウエハーキャリアの接触を利用した検出で信頼性向上
- ヘッド、ケーブル、コネクターの部品で構成、カスタマイズ可能
- 定格駆動電流：15mA以下
- 12～24VDCの動作領域
- 1.5ms以内の応答速度
- 逆電圧及び過熱防止回路内蔵
- Indicate LEDで動作状態の確認可能
CE
- CTS-STBS-C Series / Mini FOUP Sensor : 1177-200587
設置組立の時、センサー固定ブロック別途必要
設置固定ブロックがなくても設置可能
| 区分 | 細部項目 | 内容 |
|---|---|---|
| Sensor | 動作方式 | 接触式 |
| 検出距離 | 全体動作距離 : 5.0mm ±0.3mm | |
| 未検出区間 : 5.0~4.5mm | ||
| 不安定検出区間 : 4.5~3.5mm | ||
| 安定検出区間 : 3.5~0mm | ||
| 駆動Force | 最大3.5 N | |
| 寿命 | 500万回以上 | |
| 出力 | 出力TR種類 | NPN |
| 出力TR特性(On) Movement : 無 |
駆動負荷 : 5 ~ 24V DC, max 50mA 電圧降下 : 50mAで0.5V以下 |
|
| TR (Off) Movement : 有 |
漏洩電流 : 0.5mA以下 | |
| 出力応答時間 | 最大1.5ms以内 | |
| 保護及び安全回路 | 入力電源 | 逆電圧防止 : 電源電圧を逆で認可時、Diodeで電源遮断 過熱防止 : 過熱時内部電源出力遮断 |
| 出力信号 | 静電気保護回路 | |
| MTBF(回路部) | MIL-HDBK-217F | 20Years@25℃, GM(Ground Mobile) |
| Cable | 最大長さ / 直径 / Bending直径 | 9M (MAX) / 3.0mm / 45mm |
| 材質 / 心線数 | PVC / 3core, AWG26 | |
| Case | Size | 20 x 25 x 9m *) Black |
| Case材質 | Body : Polycarbonate, Movement : Polyacetal | |
| 環境 | 保管環境 | 温度 : -25 ~ 70°C 湿度 : 35~95 %RH(ただ、結露現象がないこと) |
| 動作環境 | 温度 : 0 ~ 50°C 湿度 :35~85 %RH(ただ、経路現象がないこと) |
|
| 電源 | DC 12 ~24V ±10%, 10mA以下 | |
| 重さ | 約45g (Cable 3M含む) | |
CTS-STBS-Ax(Cx)-1
CTS-STKS-AA-1
