제품 소개
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FOUP Sensor
CTS-STBS-xx-A
Mini FOUP Sensor
본 제품은 반도체 라인 설비 중 Load Port 또는 STB, Stocker 등에 설치하여 Wafer Carrier (FOUP/FOSB/POD/MAC)의 유/무를 접촉식으로 검출하는 센서입니다.
접촉식이라서 주변 광 노이즈나 전자파 노이즈 등에 영향을 받지 않고 안정적으로 물체의 유무를 검출할 수 있으며, 내부 센서 광학 방식을 채택하여 500만회 이상의 수명을 보장합니다.
- CTS-STBS-Ax(NPN)
- CTS-STBS-Cx(PNP)
- CTS-STKS-Ax(NPN)
- Wafer Carrier의 접촉을 이용한 검출로 신뢰성 향상
- Head, Cable, Connector의 부품으로 구성구성, Customize 가능
- 정격 구동 전류 : 15mA 이하
- 12 ~24 V DC 의 동작 영역
- 1.5ms 이내의 응답속도
- 역전압 및 과열 방지회로 내장
- Indicate LED로 동작 상태 확인 가능
CE
- CTS-STBS-C Series / Mini FOUP Sensor : 1177-200587
설치 조립 시 센서 고정 블럭 별도 필요
설치 고정 블록 없이도 설치 가능
| 구분 | 세부 항목 | 내용 |
|---|---|---|
| 센서 | 동작 방식 | 접촉식 *) Movement 눌림 시 점등(적색) |
| 검출 거리 | 전체 동작 거리 : 5.0mm ±0.3mm | |
| 미 검출 구간 : 5.0~4.5mm | ||
| 불안정 검출 구간 : 4.5~3.5mm | ||
| 안정 검출 구간 : 3.5~0mm | ||
| 구동 Force | 최대 3.5 N | |
| 수명 | 1000만회 이상 | |
| 출력 | TR 종류 | NPN |
| TR (On) Movement : 無 | 구동 부하 : 5 ~ 24V DC, max 50mA 전압 강하 : 50mA에서 0.5V이하 |
|
| TR (Off) Movement : 有 | 누설 전류 : 0.5mA이하 | |
| 응답 시간 | 최대 1.5ms이내 | |
| 보호 및 안전 회로 | 입력 전원 | 역 전압 방지 : 역 전원 인가 시 전원 차단 과열 방지: 과열 시 내부 전원 출력 차단 |
| 출력 신호 | 정전기 보호 회로 | |
| MTBF(회로부) | MIL-HDBK-217F | 20Years@25℃, GM(Ground Mobile) |
| 케이블 | 길이 / 지름 / 밴딩 | 9M (MAX) / 3.0mm / 45mm |
| 재질 / 심선수 | PVC / 3core, AWG26 | |
| 케이스 | 크기 | 20 x 25 x 9m *) Black |
| 케이스 재질 | Body : Polycarbonate, Movement : Polyacetal | |
| 환경 | 보관 환경 | 온도: -25 ~ 70°C, 습도: 35 ~ 95 %RH(단, 결로 현상이 없을 것) |
| 동작 환경 | 온도: 0 ~ 50°C 습도:35~85 %RH(단, 결로 현상이 없을 것) |
|
| 전원 | DC 12 ~24V ±10%, 15mA 이하 | |
| 무게 | 약 45g (케이블 3M 포함) | |
사양서 및 문의 사항은 메일로 문의 부탁드립니다.
CTS-STBS-Ax(Cx)-1
CTS-STKS-AA-1
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